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新型溶胶-凝胶法制备纳米MgO薄膜的研究

符晓荣 , 宋志棠 , 多新中 , 林成鲁 , 武光明

无机材料学报

以硝酸镁为起始原料，胶棉液为添加剂，在Ｓｉ（１００）衬底上成功地制备ＭｇＯ薄膜，结果表明，胶棉液是形成ＭｇＯ溶胶的关键组份；薄膜的晶体结构与胶棉液的含量及退火温度有关．同时，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）对薄膜的微观结构进行了分析．

关键词: 薄膜 , thin films