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热键合制作Yb:Y₃Al₅O₁₂/Y₃Al₅O₁₂复合晶体

王晓丹 , 赵志伟 , 王静雅 , 徐军 , GilbertBourdet , J.-C.Chanteloup

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00125

采用热键合技术制备了Yb:Y₃Al₅O₁₂/Y₃Al₅O₁₂(Yb:YAG/YAG)复合晶体, 对复合晶体进行了结构表征和键合质量检测. 利用光学显微镜和扫描电镜观察了复合晶体横截面的形貌; 在偏光显微镜下观察键合区域的应力, 利用干涉条纹来表征复合晶体的光学均匀性; 通过红外透过光谱的测量来检测复合晶体的键合质量. 实验结果表明: 热键合技术制备的Yb:YAG/YAG复合晶体键合界面处无界面缺陷, 不存在复合界面空间过渡层, 光学均匀性良好.

关键词: Yb:YAG/YAG , bonding quality , stress , optical homogeneity , thermal bonding