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PLD法制备TiO₂薄膜及电阻转变特性研究

曹逊 , 李效民 , 于伟东 , 张亦文

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00049

采用脉冲激光沉积法（PLD），以Pt(111)/Ti/SiO₂/Si为衬底，制备了具有电阻转变特性的TiO₂薄膜.X射线衍射（XRD）分析未发现明显的TiO₂结晶峰，薄膜呈纳米晶或非晶态.扫描电子显微镜（SEM）及原子力显微镜（AFM）分析表明，TiO₂薄膜表面平整、光滑致密.电学测试结果表明，TiO₂薄膜具有明显的单极性电阻转变特性，高低阻态比值达到10⁴.高阻态下薄膜的导电过程可用空间电荷限制电流模型解释，过程中存在软击穿现象.在此基础上，对薄膜中丝导电通道的产生及熔断过程进行了初步分析.

关键词: 脉冲激光沉积法 , unipolar , resistive switching behaviors , titanium oxide films