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用AAO模板法制备硅纳米管

刘明星刘东林王贤文苏江涛

材料研究学报

先用二步阳极氧化法制备纳米孔平均孔径约为100 nm的Al/Al₂O₃(AAO)模板, 再以AAO为模板用溶胶--凝胶法合成管径约为60--80 nm的硅纳米管, 并用扫描电镜和透射电镜观察了硅纳米管的形貌。结果表明, AAO模板的孔径分别随着二步阳极氧化法中电解温度、氧化电压、硫酸和草酸混酸浓度的增大而增大, 硅纳米管的形成与硅烷溶胶的嵌入方法、凝胶形成时间和温度有较大的关系。

关键词: 无机非金属材料 ,  silicon nanotubes , sol-gel ,  AAO template