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纳米粉预处理的CVD金刚石薄膜成核与生长研究

邵乐喜 , 谢二庆 , 贺德衍 , 陈光华 , 徐康

无机材料学报

研究了纳米金刚石粉预处理的光滑硅衬底上CVD金刚石薄膜的成核与生长.通过与研磨处理样品相比较,纳米金刚石的预处理极大地提高了成核密度(可达109/cm2)、成核速度与成膜质量,并能方便地进行成核密度的控制,是一种经济实用、简单有效的预处理方法.

关键词: CVD金刚石 , null , null , null

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