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连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究

诸葛福伟 , 高相东 , 李效民 , 甘小燕

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00008

采用乙二醇作溶剂，以连续式离子层吸附与反应法（SILAR）实现硫氰酸亚铜（CuSCN）薄膜在ITO、TiO₂薄膜以及玻璃衬底上的沉积.通过X射线衍射、扫描电镜和紫外-可见光透过谱等手段表征薄膜结晶性、表面和断面微观形貌以及光学特性.结果表明，衬底以及溶剂性质均对SILAR法薄膜沉积过程存在重要影响.ITO衬底上获得的CuSCN薄膜更为致密，呈结晶态，而TiO₂薄膜衬底上的CuSCN薄膜主要由颗粒组成，为非晶态.随沉积次数增加，薄膜表面粗糙度增大，光学透过率逐渐下降.在优化条件下（ITO衬底，20次沉积循环），所得CuSCN薄膜表面致密均匀，可见光透过率约60%.

关键词: CuSCN , SILAR , micro structure , optical properties