徐一
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缪强
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梁文萍
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王玲
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于修水
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任蓓蕾
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姚正军
稀有金属材料与工程
利用XRD、EDS和SEM分析研究了磁控溅射和电弧离子镀2种工艺制备的Al涂层的微观结构、形貌和抗氧化性能.磁控溅射技术制备的均匀、致密的Al层拥有更为细小的晶粒组织.在氧化实验后,磁控溅射制备的Al涂层形成了一个由表层氧化层、次表层富Al层和互扩散层的保护性结构.相比之下,电弧离子镀制备的Al涂层表现出了更差的抗氧化性.这是由于在离子镀制备的Al涂层中发现的针孔可以为氧气的侵入提供通道,从而引起涂层的内氧化并最终导致涂层的剥离.结果表明,磁控溅射制备Al涂层具备更好的抗高温氧化性能.
关键词:
磁控溅射
,
电弧离子镀
,
Al涂层
,
抗氧化性能
