材料期刊网

Ba_xSr_1-xTiO₃前驱多层膜制备及后热处理条件的优化

郭杏元 , 刘庆峰 , 刘茜 , 吴庆生

无机材料学报

用Ar^~+离子束多靶溅射沉积技术在单晶硅Si(100)上顺序沉积了TiO₂、BaCO₃、SrCO₃叠层,并经后期低温扩散和高温晶化两步热处理过程制备了Ba_xSr_1...

关键词: Ba_xSr_1-xTiO₃ , ion beam sputtering , sequential deposition , Auger Electronic Spectrum , diffusion