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检索条件：关键词= CVD
赵红雨 , 范秋林 , 宋力昕 , 施尔畏 , 胡行方
无机材料学报
自1994年Veprek等人提出纳米复合超硬薄膜的概念以来,以其优异的力学性能和化学性能而成为当今材料科学领域的研究热点之一.本文将介绍纳米复合超硬薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能和应用前景,及其发展趋势.
关键词: 超硬薄膜 , nanocomposite structure , CVD , magnetron sputtering
孙沿林 , 张孝彬 , 宁月生 , 孔凡志 , 刘芙
研究了以乙炔为基本原料，用Ｎ２做载流气体；以纳米钻颗粒为催化剂在７００～８００℃常压下纳米碳管的宏观量制备．粗产品中纳米碳管的含量接近５０％，而且纳米碳管缺陷很少，直而长，石墨化好．纳米碳管的形核过程是因为碳在催化剂表面分布不均匀造成的．纳米碳管的生长极限在１５ｍｉｎ左右，然后...
关键词: 纳米碳管 , CVD , normal pressure , sol-gel
余春燕 , 翟化松 , 申艳强
人工晶体学报
通过采用化学气相沉积法(CVD),以金属Ga和NH3为原料,在Si (100)衬底和蓝宝石衬底上采用催化剂Ni合成了GaN微米片.利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、X-ray能谱仪(EDS)、光致发光谱(PL)和霍尔效应测试仪(HMS-3000)对样品进行表征.结果表明...
关键词: GaN微米片 , Si衬底 , 蓝宝石衬底 , 化学气相沉积
