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强制脉冲 CVI沉积 C纤维表面涂层的工艺研究

周清 , 董绍明 , 张翔宇 , 丁玉生 , 黄政仁 , 江东亮

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01378

以MTS/H₂为前驱物, 采用强制脉冲CVI(FP-CVI)方法, 进行了在C纤维表面沉积SiC涂层的研究, 并探讨了其工艺过程. 结果表明, 在1000～1100℃和(5～25)kPa, 沉积得到的\beta-SiC具有明显的(111)面取向, 涂层均匀一致, 厚度可控. 在...

关键词: C纤维 , SiC coating , FP-CVI