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Sol-Gel法制备BaxSr1-xTiO3铁电薄膜化学机制的探讨

金承钰 , 丁永平 , 孟中岩

无机材料学报

用FTIR分析,结合DSC、XRD、AFM实验结果,展示了sol-gel法制备BaSr1-TiO(BST)薄膜热演化过程的化学机制.研究表明:螯合剂HACAC的引入减缓钛醇盐水解速率、改善晶化途径、降低结晶起始温度,从而制得了晶化完善、致密无裂纹的BST薄膜.

关键词: BST薄膜 , sol-gel method , FTIR , DSC , XRD , AFM

Tiron对纳米Al2O3悬浮液性能的影响

江琳沁 , 高濂 , 刘阳桥 , 孙静

无机材料学报

以1,2-二羟基苯-3,5-二磺酸钠(Tiron)为分散剂获得了平均粒径约为57nm的氧化铝粉体的稳定悬浮液.通过测定等温吸附曲线及悬浮液的Zeta电位,研究了Tiron对粉体表面特性的影响.结果表明,Tiron在Al2O3表面发生化学吸附,磺酸基的离解使胶粒表面电荷更负,显著提高颗粒表面的带电量,从而改善浆料的稳定性.FTIR研究表明:Tiron分子结构中两个相邻羟基与Al-OH形成内环结构,从而提高了吸附强度.流变测试确定了制备高固含量稳定浆料在pH=8.5时所需的最佳分散剂用量为0.8wt%.

关键词: 氧化铝 , l , 2-dihydroxy-3 , 5-benzenedisulfonic acid sodium salt , adsorption , FTIR

PECVD法淀积氟碳掺杂的氧化硅薄膜表征

丁士进 , 张庆全 , 张卫 , 王季陶

无机材料学报

以正硅酸乙酯(TEOS)和八氟环丁烷(C4F8)为原料,采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备了氟碳掺杂的氧化硅薄膜(SiCOF).样品的X射线光电子能谱(XPS)和傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析表明薄膜中含有Si-F、Si-O、C-F、C-CF、CF2等构型.刚淀积的薄膜的折射率约为1.40.对暴露在空气中以及在不同温度下退火后薄膜的折射率做了测量,并对其变化机理进行了讨论,同时表明了理想的淀积温度应是300℃.

关键词: 等离子体增强化学气相淀积 , SiCOF film , XPS , FTIR , refractive index

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