周婷
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叶志镇
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赵炳辉
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徐伟中
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朱丽萍
无机材料学报
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,由NO和N2O混合气体在玻璃衬底上沉积了p型ZnO薄膜.NO和N2O流量分别为40和25 sccm时,得到最低电阻率5.52Ω·cm, 同时样品的空穴浓度最高,为2.17×1018cm
关键词:
P型ZnO
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electronic properties
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MOCVD
杨卫桥
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干福熹
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邓佩珍
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徐军
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李抒智
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张荣
无机材料学报
LiGaO2单晶是目前所知的GaN最为理想的衬底材料,本研究用金属有机物气相沉积法(MOCVD)在LiGaO2(001)衬底上进行了外延生长GaN膜的试验,生长出了表面较为平整的GaN外延膜.应用原子力显微镜(AFM)、X射线粉末衍射(XRD)和高分辨X射...
关键词:
GaN
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LiGaO2
,
MOCVD
王宁
,
王奉友
,
张晓丹
,
王利果
,
郝秋艳
,
刘彩池
,
赵颖
人工晶体学报
因晶体硅是间接带隙半导体材料,其较低的吸收系数限制了对近红外波段入射光的吸收.为此,引入金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术制备的ZnO薄膜,并通过改变掺杂流量和沉积时间调节ZnO∶ B(BZO)薄膜的光学和电学性能.将BZO薄膜用于硅异质结(SHJ)太阳电池的背反射电极,相比于传统结构,电池的反...
关键词:
ZnO∶B薄膜
,
金属有机化学气相沉积
,
外量子效率
,
异质结太阳电池
刘渊
,
刘祥萱
,
王煊军
,
陈鑫
金属学报
doi:10.11900/0412.1961.2013.00774
采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺,以高纯Fe(CO)5和SrFe12O19为原料,高纯N2为载气,在SrFe12O19表面沉积连续Fe膜,从而制得Fe-SrFe12O19复合材料.用XRD,SEM,EDS和矢量网络分析仪对粉末的结构及电磁性能进行表征并对其吸波性能进行研究.结果表明,SrF...
关键词:
羰基铁
,
金属有机化学气相沉积
,
电磁
,
微波吸收
蔡宏中
,
易健宏
,
胡昌义
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常桥稳
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魏燕
,
郑旭
,
刘伟平
,
陈力
稀有金属材料与工程
以二氯化钯和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了一种新的β二酮前驱体-双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ).通过元素分析、红外光谱、核磁共振氢谱及单晶X射线衍射等技术对合成的前驱体进行了结构表征.热重-差热分析表明,在N2气氛中,当温度升到291℃时,前驱体...
关键词:
双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钯(Ⅱ)
,
钯薄膜
,
MOCVD
