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Mn-Mg共掺杂对钛酸锶钡薄膜介电性能的影响

周歧刚 , 翟继卫 , 姚熹

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00519

用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO ₂/Si衬底上制备了系列Mn-Mg共掺杂的钛酸锶钡(Ba _0.25 Sr _0.75 TiO ₃)薄膜. X射线衍射以及场发射扫描电镜分析表明: 薄膜为钙钛矿结构且无杂相生成, ...

关键词: BST薄膜 , Mn-Mg co-doping , sol-gel , dielectric property