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检索条件:关键词= PVD
刘燕萍 , 徐晋勇 , 隗小云 , 王建忠 , 高原 , 徐重
中国腐蚀与防护学报
采用双层辉光渗金属技术,在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的TiN复合渗镀层.对复合渗镀、PVD以及复合渗镀+PVD三种工艺制备的TiN层表面形貌 、成分及在10%H2SO4和35%NaCl〖JP2〗溶液中的耐蚀性能进行了对比试验研究.结果表明:复合渗镀+PVD法沉积的TiN薄膜呈较为均匀、致...
关键词: 辉光等离子 , , PVD , TiN , structure