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多层复合渗镀TiN耐蚀性的研究

刘燕萍 , 徐晋勇 , 隗小云 , 王建忠 , 高原 , 徐重

中国腐蚀与防护学报

采用双层辉光渗金属技术，在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的TiN复合渗镀层.对复合渗镀、PVD以及复合渗镀＋PVD三种工艺制备的TiN层表面形貌 、成分及在10%H2SO4和35%NaCl〖JP2〗溶液中的耐蚀性能进行了对比试验研究.结果表明：复合渗镀＋PVD法沉积的TiN薄膜呈较为均匀、致密、细小的组织，Ti和N原子由表层呈梯度向内分布.与PVD法沉积的TiN层不同，是属于冶金扩散结合层，渗镀层厚度可达10 μm以上.在10%H2SO4和35%NaCl溶液中，渗镀层的腐蚀速度分别为0.156 g/(m2·h)和0.025 g/(m2·h)，显示出了优异的耐蚀性.

关键词: 辉光等离子 , , PVD , TiN , structure