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三维PZT木堆结构的直写成型

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00495

配制了一种水基锆钛酸铅(PZT)陶瓷浆料, 通过直写无模成型的方法制备了直径为微米级的压电木堆结构. 流变学测量表明, 浆料属于剪切变稀型流体; 微观形貌观察和密度测量表明, 烧结后的样品已经成瓷, 且具有较高的致密度; X射线衍射(XRD)的测试结果表明, 烧结后的样品具有三方PbZr_0...

关键词: 直写无模成型 , PZT , ink preparation , piezoelectric property

PZT和PT陶瓷的热释电效应与晶格参数的关系

孙大志 , 翟翠凤 , 金绮华 , 姚春华 , 李晓辉 , 林盛卫

无机材料学报

测量了锆钛酸铅（PZT和钛酸铅（PT）陶瓷材料的热释电效应，利用X射线衍射测量了陶瓷材料在不同温度下晶格结构变化，研究了PZT和PT陶瓷材料的热释电效应与晶格参数之间的相互关系，实验表明，陶瓷材料的热释电系数的大小与晶格参数随温度变化的情形有关，c轴与c／a比随温...

关键词: PT , PZT , pyroelectricity , XRD

锰掺杂对硬性PZT材料压电性能的影响

贺连星 , 李承恩

无机材料学报

研究了锰掺杂对ＰＺＴ材料微结构及压电性能的影响，并用ＥＳＲ确定了锰在ＰＺＴ材料中的价态．结果表明，锰在ＰＺＴ材料中主要以Ｍｎ^２＋和Ｍｎ^３＋的方式共存．锰在ＰＺＴ陶瓷材料中的“溶解度”约为１．５ｍｏｌ％．锰含量＜０．５ｍｏｌ％时，Ｍｎ将以Ｍｎ^２...

关键词: 锰掺杂 , PZT , piezoelectric properties

应用于MEMS的PZT铁电薄膜

于晓 , 张之圣 , 胡明

无机材料学报

薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS, 使两者集成成为可能. 本文将详细论述铁电薄膜的优良性能, 及其与MEMS集成的关键工艺--图形化. 最后, 举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.

关键词: MEMS , ferroelectrics thin films , PZT , micro fabrication , pattern

用于非制冷热释电红外探测器的 PZT铁电薄膜研究

王忠华 , 李振豪 , 普朝光 , 杨培志 , 林猷慎

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01223

采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜. 用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层, 在衬底PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO₂/Si上用射频磁控溅射过量10%Pb的Pb(Zr_xTi_1-x)O<...

关键词: 非制冷热释电红外探测器 , lead zirconate titanate(PZT) , seed layer , rapid stepping-annealing

极化对锆钛酸铅陶瓷力学性能的影响

于瑶 , 王旭升 , 李艳霞 , 姚熹

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140360

本工作所采用的样品为锆钛酸铅陶瓷PZT-5H与PZT-8,用动态力学分析仪(DMA)测试了极化前后PZT-5H与PZT-8在不同力学荷载频率下的杨氏模量和内耗与温度的关系.结果表明:PZT-5H和PZT-8的铁电-页电相变温度(瓦)分别为438 K和550 K.极化前后PZT-8的杨氏模量都高于PZ...

关键词: 杨氏模量 , 内耗 , DMA , PZT , 极化

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三维PZT木堆结构的直写成型

PZT和PT陶瓷的热释电效应与晶格参数的关系

锰掺杂对硬性PZT材料压电性能的影响

应用于MEMS的PZT铁电薄膜

用于非制冷热释电红外探测器的 PZT铁电薄膜研究

极化对锆钛酸铅陶瓷力学性能的影响

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