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射频分子束外延生长AlInGaN四元合金

王保柱 , 王晓亮

无机材料学报 doi:10.3724/sp.j.1077.2009.00559

利用射频等离子体辅助分子束外延（RF-MBE）技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮(AlInGaN)四元合金，通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金，材料生长过程中采用反射式高能电子衍射（RHEED）进行了在位检测. 通过扫描电镜（SEM）、卢瑟福背散射（RBS）、X射线衍射（XRD...

关键词: 铝铟镓氮 , RF-MBE , structural properties , optical properties