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激光合成纳米晶Si粉及粉体性能表征

李亚利 , 梁勇 , 肖克沈 , 郑丰 , 胡壮麒

金属学报

本文采用激光诱导高纯硅烷气相反应在不同的合成条件下制备出平均粒径为２０—１００ｎｍ。晶粒度为１８—３７ｎｍ的各种纳米Ｓｉ粉。研究了实验参数对粉体形成的影响并采用多种测试手段（ＴＥＭ．ＸＰＳ，ＸＲＤ，ＦＴＩＲ．ＢＥＴ）研究了粉体粒子形貌、键结构特征及表面状态。结果表明。粉体由团聚态形状不规各单分散球形...

关键词: 激光合成 , Si powder , Si_3N_4