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化学气相沉积法制备的块体Si-C-N陶瓷的热行为

卢国锋 , 乔生儒 , 张程煜 , 焦更生

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.10828

采用化学气相沉积法制备了块体非晶态Si-C-N陶瓷. 用TG/DSC、XRD、SEM和TEM等技术方法研究了所制备的Si-C-N陶瓷的热行为. 研究结果表明: 在热处理过程中, 非晶态Si-C-N首先发生相分离, 分离后的一种相呈颗粒状; β-SiC就是从这种颗粒状的分离相中形成. 在热处理条件下,...

关键词: 非晶态 , Si-C-N ceramic , thermal behavior , crystallization