欢迎登录材料期刊网
牛晓滨 , 廖源 , 常超 , 余庆选 , 方容川
无机材料学报
在HFCVD系统中采用SiH4/CH4/H2/N2混合气体成功的制备了SiCN薄膜.SEM照片显示制备的SiCN薄膜由棒状结构构成,而在HRTEM下发现这些棒状结构是由生长在无定型SiCN基体当中的纳米晶粒组成的...
关键词: HFCVD , SiCN films , α-Si3N4
