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SmCo7永磁薄膜的高温磁性能

彭龙 , 涂小强 , 李乐中 , 王瑞

稀有金属材料与工程

研究了以Mo为衬底在Si(100)基片上沉积SmCo7永磁薄膜的高温磁学性能.结果表明,高温老化处理对薄膜的晶体结构和磁性能没有显著影响.根据趋近饱和定律和薄膜的高温磁化曲线,获得了磁晶各向异性常数K1随温度的变化关系.该关系说明随着温度的增加,SmCo晶粒的取向在一定程度上受到了破坏.此外,薄膜磁性能随温度的变化关系适当,可以满足在微电子机械系统(MEMS)中的应用.

关键词: 稀土永磁 , SmCo薄膜 , 高温应用 , MEMS