赵蕾
,
付永辉
,
刘登益
,
朱晓东
,
何家文
无机材料学报
采用离子束辅助磁控溅射技术(IBMSD)制备了高硬度、低电阻率的类石墨碳膜(GLC), 用TEM和XRD考察其组成相, 用XPS、FTIR和电阻率间接确定其碳键结构, 并测定了不同气体和离子能
量辅助轰击下制备的几组薄膜的沉积速率、成分、硬度和粗糙度等. 结果表明: 采用IBMSD制备的GL...
关键词:
离子束辅助沉积(IBAD)
,
magnetron sputtering
,
amorphous carbon coating
,
structure
