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脉冲激光沉积b轴取向BaTi₂O₅薄膜的研究

王传彬 , 涂溶 , 後藤孝 , 沈强 , 张联盟

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00553

采用脉冲激光沉积(PLD)技术, 在MgO(100)基片上制备了b轴取向的BaTi₂O₅薄膜, 研究了基片温度(T_sub)、氧分压(P_O2)等沉积工艺对薄膜结构的影响. 结果表...

关键词: BaTi₂O₅薄膜 , b-axis orientation , substrate temperature , oxygen partial pressure