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W/TiO2/ITO薄膜的阻变性能及其机理研究

张维 , 周白杨 , 刘俊勇 , 邢昕 , 李建新

人工晶体学报

采用磁控溅射方法沉积TiO2薄膜及电极层,制备W/TiO2/ITO薄膜阻变存储器单元.利用原子力显微镜、X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪对薄膜进行表征,测试结果表明:TiO2薄膜表面平整、致密;组织结构以非晶为主,仅有少量的金红石相TiO2(110)面结晶;钛氧比为1∶1.92,其内部存在少量的氧空...

关键词: TiO2薄膜 , 阻变存储器 , 双极阻变 , 导电细丝