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脉冲激光沉积法生长In掺杂SrTiO₃薄膜及其微观结构研究

张亦文 , 李效民 , 赵俊亮 , 于伟东 , 高相东 , 吴峰

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00531

采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上, 生长不同In掺杂量的SrIn_xTi{_1-xO₃(x=0、0.1、0.2)薄膜, 研究In掺杂及本征SrTiO...

关键词: 脉冲激光沉积法 , SrTiO₃ film , buffer layer , crystallinity

Si(100)衬底上PLD法制备高取向度AlN薄膜

张霞 , 陈同来 , 李效民

无机材料学报

采用脉冲激光沉积法(PLD),以KrF准分子为脉冲激光源,Si(100)为衬底,同时引 入缓冲层TiN和Ti_0.8Al_0.2N,制备了结晶质量优异的A1N薄膜,X射线衍射(XRD)及反射 式高能电子衍射(RHEED)分析表明A1N薄膜呈(001)取向、二维...

关键词: 脉冲激光沉积 , aluminium nitride thin film , buffer layer

化学浴沉积法制备ZnS薄膜的结构及可见-近红外光谱特性研究

刘颖 , 缪彦美 , 郝瑞亭 , 郭杰 , 杨海刚

人工晶体学报

采用化学水浴法,以ZnSO4、柠檬酸钠、NH3·H2O、SC(NH2)2为反应物,在玻璃衬底上制备了ZnS薄膜,采用XRD、SEM、分光光度计、台阶仪等手段研究了水浴温度、沉积时间、pH值等条件对ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性能的影响.结果表明,ZnS薄膜经退火后出现明显特征衍射峰,为闪锌矿...

关键词: ZnS薄膜 , 缓冲层 , 化学浴沉积 , 透过率

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