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硫化物系陶瓷薄膜湿敏性能的研究

王天宝 , 王列娥 , 吴怀良 , 冯宝康

无机材料学报

本工作根据要研制一种纯物理吸附表面的设想，研究了用溶胶法制备的Cu、Zn、Fe、Sb和Ti等的硫化物系薄膜的感湿特性，发现硫化物系薄膜具有感湿灵敏度高、滞后小、响应快等优点，其中离子的电荷-半径比大的金属硫化物湿敏元件具有特别好的长期稳定性;与预期的结果一致.

关键词: 硫化物 , film humidity sensor , ceramic humidity sensor