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金刚石低压气相生长的驱动力

张卫 , 万永中 , 刘志杰 , 王季陶

金属学报

以CH4／H2体系为例，研究了气相生长金刚石和石墨的驱动力随温度和CH4的摩尔分数的变化情况若不考虑超平衡氢原子的作用，则石墨的生长驱动力总是大于金刚石的生长驱动力；如考虑超平衡氢原子的作用，则在一定的温度和CH4摩尔分数条件下，生长金刚石的驱动力将大于零且生长石墨的驱动力小于零。结果表明，此时气相...

关键词: 金刚石 , vapor phase growth , chemical potential