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丙烯化学气相沉积热解碳的动力学研究

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.01165

以丙烯为碳源, 利用磁悬浮天平热重系统研究了化学气相沉积热解碳的原位动力学, 采用气质联用仪对热解气相冷凝物进行了定性和半定量分析. 结果表明: 当稀释比为4, 总压力为6kPa, 丙烯流量为20sccm时, 丙烯在850～1100℃之间的热解反应表观活化能为(201.9±0.6)kJ/mol, 沉...

关键词: 原位动力学 , pyrocarbon , propylene , chemical vapor deposition , GC-MS

三级化学气相沉积法制备SiC纤维及拉伸性能测试

张荣军 , 杨延清 , 沈文涛

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00840

以甲基三氯硅烷为先驱体, 用直流电热三级化学气相沉积法制备了带有碳涂层的钨芯SiC纤维, 测定了纤维的室温拉伸强度, 并用Weibull分布对纤维的拉伸强度进行了评价. 利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和透射电镜(TEM)分析了纤维的断口形貌、相结构组成和W/SiC界面反应层的微观结构...

关键词: SiC纤维 , chemical vapor deposition , tensile strength , fracture morphology , Weibull modulus

碳源流量对碳纳米管厚膜形貌和结构的影响

曹章轶 , 孙卓 , 郭平生 , 陈奕卫

无机材料学报

采用低压化学气相沉?积(LPCVD)在镍片上制备了厚度在400～1000μm范围的碳纳米管(CNTs)薄膜, 研究了碳源(乙炔)流量对碳纳米管薄膜形貌
和结构的影响. 随乙炔流量的增加, 碳纳米管薄膜厚度和产量增大. 电子显微镜和拉曼光谱研究结果表?明, 在乙炔流量为10sccm下制备的碳纳...

关键词: 碳纳米管(CNTs) , chemical vapor deposition , SEM , TEM , Raman spectra

化学气相沉积SiC膜{111}取向生长的原子尺度模拟

刘翠霞 , 杨延清 , 黄斌 , 张荣军 , 罗贤 , 任晓霞

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00933

在化学气相沉积SiC膜过程中, 分别考虑了化学反应的动力学以及基底表面原子的沉积与扩散, 利用动力学蒙特卡罗方法, 建立了SiC膜{111}取向的三维原子尺度模型, 使用MATLAB模拟了原子尺度的SiC膜{111}取向生长过程. 模拟结果表明: 膜的生长经历了小岛的生成、小岛的合并与扩展、小岛间达...

关键词: 化学气相沉积 , chemical vapor deposition , kinetic monte carlo simulation , surface roughness , relative density

微波等离子体化学气相淀积法生长取向性纳米氮化铝薄膜

孟广耀 , 谢松 , 彭定坤

材料研究学报

采用微波等离子体增强的化学气相淀积法,在Si(111)衬底上生长了(002)择优取向良好的AIN纳米薄膜研究淀积参数对膜的形貌、物相结构和生长速率的影响,发现在一定条件下,该起积过程属于典型的输运控制过程采用表面吸附生长模型讨论了膜的生长机制

关键词: 微波等离子体 , chemical vapor deposition , AIN film , growth mechanism

定向碳纳米管阵列在石英玻璃基底上的模板化生长研究

张先锋 , 曹安源 , 孙群慧 , 徐才录 , 吴德海

无机材料学报

分别以带有刻痕的石英玻璃和溅射过Au膜的石英玻璃为生长基底,通过催化裂解二茂铁和二甲苯混合物的方法,在基底上制备出了模板化的定向碳纳米管(CNT)阵列,扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)观察表明:在这两种基底上生长的定向碳纳米管阵列的模板化程度都很高,其中的碳纳米管多为直径在20～50nm的多壁...

关键词: 碳纳米管 , patterned growth , chemical vapor deposition , aligned array

化学气相沉积碳化硅的热力学分析

卢翠英 , 成来飞 , 张立同 , 徐永东 , 赵春年

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.01189

根据吉布斯自由能最小原理, 采用FACTSAGE计算软件, 重点对MTS/H₂体系化学气相沉积碳化硅进行了均相平衡计算,评价了体系中主要化合物对沉积碳化硅的作用. 结果表明,低温和高压下, SiCl₄和CH₄的含量最多, 不饱和物质和...

关键词: 热力学 , surface reactive sticking coefficient , chemical vapor deposition , silicon carbide , null

超临界干燥法制备催化剂合成单壁纳米碳管及表征

罗君航 , 张孝彬 , 李昱 , 程继鹏 , 刘芙

无机材料学报

采用超临界干燥法制备了活性高、比表面大的Fe/Mo/Al₂O₃催化剂.通过超临界干燥,催化剂的比表面由294m²/g提高到401m²/g.在1000℃下用该催化剂催化裂解甲烷, 合成了大产量、高质量的单壁纳米碳管...

关键词: 超临界干燥法 , single-walled carbon nanotubes , chemical vapor deposition , TEM

三级化学气相沉积法制备SiC纤维的微观组织结构

张荣军 , 杨延清 , 王晨 , 沈文涛 , 罗贤

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01281

以甲基三氯硅烷和乙炔为源气体, 用直流电热三级化学气相沉积法制备了带有碳涂层的钨芯SiC纤维, 利用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪和透射电子显微镜等方法观察了纤维的微观组织结构. 结果表明, 所制备的SiC纤维由钨芯、W/SiC界面反应层、两层SiC和表面碳涂层组成. 纤维中的SiC主要为beta-...

关键词: SiC纤维 , chemical vapor deposition , microstructure , defects , Raman spectra