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偏压加强MPCVD法Ir(100)/MgO(100)基片上金刚石异质外延形核

李义锋 , 佘建民 , 苏静杰 , 唐伟忠 , 李效民 , 徐小科

人工晶体学报

利用自行研制的可调谐圆柱谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置的结构优势,设计了电极可调节的偏压加强MPCVD装置.采用脉冲激光沉积(PLD)法制备了Ir(100)/MgO (100)基片.采用偏压加强MPCVD装置进行了金刚石异质外延形核的探索,在Ir(100)/MgO (100)基片...

关键词: 金刚石 , 异质外延 , 化学气相沉积 , 微波等离子体 , 偏压加强