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燃烧化学沉积纳米α- Al₂O₃薄膜及晶化处理

张增志 , 付跃文 , 周有强

无机材料学报

提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法一燃烧化学沉积法．该方法省去了真空条件；直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜．其主要特点是将配制好的初始液体雾化，让该液雾穿过高温火焰流体．初始液体在火焰流中发生化学反应，并形成反应火焰流，该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜，然后再通过热处理进行晶化处理...

关键词: 纳米陶瓷 , combustion chemistry , deposition , α-Al₂O₃