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傅刚 , 陈志雄 , 张进修
无机材料学报
运用复阻抗谱方法，在不同浓度乙醇与汽油气体中，测试SnO2厚膜气敏元件的电抗-频率关系曲线，由电抗的变化来标定元件的灵敏度．与以往的测试采用直流电参量标定灵敏度相比，复阻抗测试不仅提高了元件的灵敏度，而且显著改善了选择性．该结果表明复阻抗测试不仅反映元件在气体吸附或解吸时晶粒间界处晶界电阻的变化，也反映了晶界电容的变化，因而更能体现气敏机制的本质．
关键词: SnO2厚膜 , alcohol sensor , complex impedance , sensitivity , selectivity
采用平面丝网印刷工艺制备ＳｎＯ２厚膜气敏试样，分别在不同烧结温度和保温时间下于空气中烧成，测量试样的灵敏度和稳定性，并通过复阻抗分析方法，研究ＳｎＯ２气敏元件烧结工艺和电性能的关系，探讨烧结工艺对敏感材料微结构的影响．结果表明，适当调整烧结工艺参数可以使元件既有较高的气体灵敏度又有良好的长期稳定性；复阻抗分析表明，随保温时间延长，试样的电阻－电抗曲线半圆弧的弥散角逐渐减小至零，说明适当延长保温时间使晶粒间界处的弛豫时间分布趋向一致，晶界处晶粒的接触形态以及开口气孔和缺陷的分布等更趋均一和稳定．
关键词: SnO2气敏元件 , thick film , calcining temperature , calcining time , complex impedance
