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金刚石/碳化硅复合梯度膜制备研究

石玉龙 , 姜辛

无机材料学报

采用微波等离子化学气相沉积(MW-PCVD)制备金刚石/碳化硅复合梯度膜.工作气体为H₂,CH₄和Si[CH₃]₄(四甲基硅烷,TMS),其中H₂∶CH₄=100∶0....

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 , diamond , composite gradient film