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晶体硅太阳能电池绒面的反应离子刻蚀制备研究

靳聪慧 , 史振亮 , 于威 , 丛日东 , 张瑜 , 宋登元 , 傅广生

人工晶体学报

以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥...

关键词: 反应离子刻蚀 , 锥型绒面结构 , 晶体硅 , 太阳能电池