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立方 TaN纳米粉的制备

类伟巍 , 沈龙海 , 刘丹 , 李雪飞 , 彭刚 , 崔启良 , 邹广田

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00400

采用直流电弧法使金属钽和氮气直接反应制备出了TaN纳米粉.利用XRD、XPS、TEM等测试方法对所制备的TaN纳米粉进行了表征.结果表明: 所制备的纳米粉为单一的立方相TaN, 纳米颗粒的平均粒度为5~10nm.实验中还发现氮气的气压对制备纯立方相TaN具有关键性作用, 并讨论了立方相TaN的形成机理.

关键词: 立方相TaN , nanocrystallites , dc arc discharge method

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