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AlN陶瓷基板覆铜技术的研究

许昕睿 , 庄汉锐 , 李文兰 , 徐素英 , 张宝林 , 江国健

无机材料学报

探索了AlN陶瓷基板表面氧化状态对敷接强度的影响。结果表明:敷接过程中Cu[O]共晶液体对未经氧化处理的AlN陶瓷基板的浸润性较差,不能形成牢固的结合;AlN陶瓷表面经氧化处理后能够显著改善与Cu[O]共晶液体的浸润性,其界面结合强度与氧化工艺密切相关,受热应力的影响,空气条件下氧化试样的敷接强度大...

关键词: AIN陶瓷 , copper , oxidation , direct bonding