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激光刻蚀工艺对Al₂O₃-ZrO₂固溶度和结晶度的影响

杨修春 , DUBIELM , HOFMEISTERH , RIEHEMANNW , 黄文旻

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00677

利用X射线衍射, X射线吸收精细结构谱和高分辨电镜研究了激光刻蚀工艺对Al₂O₃-ZrO₂固溶度和结晶度的影响. 结果表明, Al₂O₃在ZrO₂中的固溶度越大, ZrO₂晶体结构无序度越大. 样品室的空气压力越大, 粉体中无定形相的含量越大. 无定形ZrO₂中存在短程有序-长程无序结构Zr-O-Zr(Al). 同Al₂O₃-ZrO₂固溶体相比, 无定形ZrO₂具有更短的Zr-O和Zr-Zr(Al)原子间距离和更大的无序度.

关键词: 激光刻蚀 , Al2O3-ZrO2 solubility , crystallizability , disorder