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铁电钛酸锶钡薄膜的最新研究进展

朱小红 , 朱建国 , 郑东宁 , 李林

无机材料学报

铁电钛酸锶钡(Ba_xSr_1-xTiO₃)是一种拥有十分优越铁电/介电性能的材料,在可调谐微波器件及动态存储器件方面具有很好的应用前景.本文概括介绍了Ba_xSr_1-xTiO₃薄膜的研究意义、基本结构、制备方法、各种性能特征及其表征方法与应用展望;并对当前Ba_xSr_1-xTiO₃薄膜研究中的几个重要前沿问题进行了详细讨论.

关键词: 铁电/介电薄膜 , barium strontium titanate （BST-x） , microwave devices , dynamic random access device