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金属薄膜形成过程中电导特性变化的有效媒质理论

曹晓晖 , 唐兆麟 , 黄荣芳 , 闻立时 , 师昌绪

金属学报

利用有效媒质理论描述了金属薄膜形成过程中电导率变化规律,与实验测得的Al薄膜形成过程中电导率变化结果比较接近.分析和讨论了一些影响计算结果准确性的因素.

关键词: 薄膜 , conductivity , effective medium theory

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