刘罡
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朱嘉琦
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王赛
,
陆晓欣
,
刘远鹏
,
霍施宇
,
袁欣薇
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术, 具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性. 基于其独特的优越性, 固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点, 并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用, 例如...
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
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piezoelectric film
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Bragg reflector
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electrode film
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