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TiO₂种子层对Bi _3.15 Nd _0.85 Ti ₃ O ₁₂铁电薄膜的结晶取向和铁电性能的影响

李佳 , 于军 , 彭刚 , 王耘波 , 周文利

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01192

用sol-gel法分别制备了直接沉积在Pt/Ti/SiO₂/Si衬底上和加入了TiO₂种子层的Bi _3.15 Nd _0.85 Ti ₃ O ₁₂ (BNT)铁电薄膜, ...

关键词: sol-gel , Bi _3.15 Nd _0.85 Ti ₃ O ₁₂ , ferroelectric thin film , TiO₂ seeding layer