张卫华
,
袁媛
,
石春梅
,
赵高扬
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00886
采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺, 以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂, 以乙酰丙酮为化学修饰剂, 利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性, 制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶...
关键词:
BST薄膜
,
photosensitivity
,
fine patterning
,
sol-gel process
张卫华
,
赵高扬
无机材料学报
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,得到了具有紫外光感光性的溶胶及其凝胶薄膜,提出了YSZ薄膜的微细图形加工新方法.UV-Vis.分光光度计的紫外光谱测试结果表明:乙酰丙酮与锆离子形成的螯合物在室温、可见...
关键词:
氧化锆薄膜
,
sol-gel process
,
photosensitivity
,
fine patterning
