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柔性衬底 PET上低温沉积 Zn_xCd_1-xO透明导电薄膜

季振国 , 陈敏梅 , 张品 , 周强

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2008.00361

利用直流反应磁控溅射在柔性衬底(聚乙烯对苯二酸脂, PET)上低温沉积了对可见光透明的低电阻率的Zn_xCd_1-xO薄膜, 并研究了Zn含量x对Zn_xCd_...

关键词: 直流磁控溅射 , flexible substrate , ZnCdO films , transparent conductive films