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阴极离子镀TiN涂层组织结构与结合强度

郭皓元 , 孔德军 , 王文昌

材料热处理学报

采用阴极离子镀方法在YT14硬质合金刀具表面制备了TiN涂层,通过SEM、EDS和XPS等手段对涂层表面-界面形貌、界面化学元素线扫描和元素价态进行了分析,并用划痕法定量表征其界面层结合强度.结果表明,涂层呈细小致密结构,与基体紧密结合,未观察到裂纹现象;基体表面C原予以间隙扩散和空位扩散方式进入TiN涂层中,O原子占领或替代TiN涂层中N原子,形成结合较强的Ti-O键以及Ti-O-N化合物,验证了Ti原子和O原子具有很强的亲和力;涂层-基体界面为化合和扩散结合形式,其结合强度为40.95 N,有利于提高硬质合金刀具的使用寿命.

关键词: 阴极离子镀 , 硬质合金刀具 , TiN涂层 , XPS分析 , 结合强度

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