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钕掺杂ZnO薄膜的制备及抗凝血性能研究

黄展云 , 罗平 , 陈弟虎

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00993

采用射频磁控溅射方法在硅(100)衬底上制备了不同含量元素钕(Nd)掺杂的氧化锌薄膜. XRD分析表明, 所有ZnO薄膜都具有c轴择优取向. 随着Nd掺杂量的增加, (002)衍射峰的强度减弱, 颗粒的尺寸变小. 紫外-可见光谱分析表明, 所有薄膜在可见光区的透过率超过85%, 随着Nd掺杂量的增加, 光学带隙从3.30 eV增加到3.40 eV. 用XPS对薄膜的表面化学态进行表征, Nd元素在ZnO薄膜表面以Nd3+离子态存在. 用接触角测试薄膜表面的浸润性, 并计算其表面能. 用血小板粘附实验研究不同含量Nd掺杂ZnO薄膜的血液相容性, 其结果表明稀土钕掺杂后血小板的粘附数量和形变都较少, 稀土掺杂和疏水性的提高是改善氧化锌薄膜抗凝血性能的主要原因.

关键词: 氧化锌 , neodymium , X-ray photoelectron spectroscope , hemocompatibility

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