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多孔氧化铝膜的纳米力学性能研究

姚素薇 , 张璐 , 张卫国 , 张振宇 , 李鸿琦

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00736

采用二次铝阳极氧化技术, 制备了高度有序的铝阳极氧化膜(AAO膜), 孔径为50nm. 利用纳米压缩仪结合纳米压痕仪对不同压缩位移条件下的AAO膜进行了纳米力学测试和卸载后的压痕原位扫描实验. 通过测量加载-卸载曲线并用Oliver-Pharr模型分析计算得...

关键词: 阳极氧化铝膜(AAO) , nanocompression , nanoindentation , in-situ scanning