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金属膜电极层对Na2O-PbO-Nb2O5-SiO2玻璃陶瓷电容器电性能的影响

朱君 , 罗君 , 张庆猛 , 杜军

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00613

玻璃陶瓷电容器内电极结构及界面形貌对电性能有重要影响. 采用磁控溅射法在介质层与银浆料电极间分别制备了Pt、Au、Cu和Ag金属膜内电极层, 研究此电极层对Na2O-PbO-Nb2O5-SiO2玻璃陶瓷电容器电性能的影响. 与单层浆料的电极结构相比, 引入Pt、Au金属膜可以更有效地改善电性能: 等效电容值增加25%, 漏电流降低一个数量级. 由SEM结果可知: Pt、Au、Cu膜与玻璃陶瓷紧密的界面接触能够抑制银向介质中扩散; 然而, 采用单层银浆料或引入Ag金属膜的样品界面多孔且银扩散严重. 以上分析表明: Pt、Au金属膜电极层能够改善玻璃陶瓷电容器界面微观结构, 有效抑制银的扩散, 提高整体电性能.

关键词: 金属膜 , inner electrode , glass ceramic capacitors , electrical properties , diffusion

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