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铝诱导晶化法低温制备多晶硅薄膜

饶瑞 , 徐重阳 , 孙国才 , 王长安 , 曾祥斌

无机材料学报

为了满足在普通玻璃衬底上制备多晶硅薄膜晶体管有源矩阵液晶显示器,低温(<600℃)制备高质量多晶硅薄膜已成为研究热点.本文研究了一种低温制备多晶硅薄膜的新工艺:金属诱导非晶硅薄膜低温晶化法.在非晶硅薄膜上蒸镀金属铝薄膜,并光刻形成铝膜图形,而后于氮气保护中退火.利用光学显微镜和拉曼光谱等测试方法,研究了Al诱导下非晶硅薄膜的晶化过程,结果表明;在560℃退火6h后;铝膜下的非晶硅已完全晶化,确定了所制备的是多晶硅薄膜.初步探讨了非晶硅薄膜金属诱导横向晶化机理.

关键词: 金属诱导晶化 , low temperature , amorphous silicon film , polycrystalline silicon film

BST类铁电薄膜低温外延层状生长研究

李金隆 , 李言荣 , 张鹰 , 邓新武 , 刘兴钊

无机材料学报

利用激光分子束外延技术(LMBE)在SrTiO3(100)单晶基片上外延生长SrTiO3(STO)、BaTiO3(BTO)、Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜.通过反射高能电子衍射(RHEED)实时监测薄膜生长,并结合原子力显微镜(AFM)分析薄膜的生长模式,根据RHEED衍射强度振荡曲线及衍射图样的变化确定动态和静态控制最低晶化温度,发现STO、BTO、BST三种铁电薄膜可以分别在280、330、340℃的低温下实现外延层状生长.

关键词: BST , ferroelectric thin films , low temperature , epitaxial growth

低沸点工质板式脉动热管传热特性研究

李雪娇 , 贾力 , 陆谦逸

工程热物理学报

针对电子设备需要在较低的温度下工作的要求,本文对采用R141b与R600a等低沸点工质,槽道边长为1 mm的板式脉动热管进行传热实验研究.结果表明,对比丙酮工质脉动热管,在不同加热功率下,低沸点工质脉动热管启动时间短,启动温度低,正常运行时冷热端温差小,热端温度低,热阻小.低沸点工质能大幅提高微通道脉动热管传热性能,R600a为工质时,脉动热管启动时间最短仅需要12 s,正常运行时,R141b为工质脉动热管冷热端温度差最小为0.8℃.

关键词: 脉动热管 , 低温 , 低沸点 , 传热性能

聚羧酸高效减水剂的低温合成技术及性能研究

李晓燕 , 李晓东 , 唐盟 , 周大稳 , 刑俊涛 , 胡红伟

硅酸盐通报

低温条件下,以异戊烯醇聚氧乙烯醚(TPEG)、甲基丙烯磺酸钠(SAMS)、丙烯酸(AA)、复合引发剂E为原料,利用自由基共聚反应合成聚羧酸高效减水剂.探讨了AA与SAMS、TPEG的摩尔比、加料方式、引发剂用量、反应温度和反应时间对合成减水剂性能的影响.实验结果表明,利用最佳生产工艺参数所制减水剂,当掺量为水泥用量的0.18%时,减水率可达29%,初始净浆流动度达280 mm,1h经时流动度为270 mm,具有良好的分散性和保坍性.

关键词: 聚羧酸类减水剂 , 异戊烯醇聚氧乙烯醚 , 低温 , 水泥净浆流动度

MECHANICAL PROPERTIES OF A TYPE OF Al-ALLOY WELD

ZH Tu , Z Zhang , L.Z. Zhaoand T.X. Mao (Cryogenic Laboratory , Chinese Academy of Sciences , Beijing 100080 , China) (Institute of Mechanics , Chinese Academy of Sciences , Beijing 100080 , China )

金属学报(英文版)

The mechanical properties of a type of Al-alloy weld including strength, fracture tough-ness and ductility were comprehensively studied at different temperatures. The frac-ture behavior and weld micro features were also characterized. The surface crack test method was adopted to study the fracture toughness and a multiple specimen test ap-paratus was designed to perform the cryogenic experiments. The relationship between the mechanical properties and temperature was obtained together with the fracture toughness distribution in the weld.

关键词: Al-alloy weld , null , null , null

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