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连续式离子层吸附与反应法沉积CuSCN薄膜及其微观结构、光学特性研究

诸葛福伟 , 高相东 , 李效民 , 甘小燕

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.00008

采用乙二醇作溶剂,以连续式离子层吸附与反应法(SILAR)实现硫氰酸亚铜(CuSCN)薄膜在ITO、TiO2薄膜以及玻璃衬底上的沉积.通过X射线衍射、扫描电镜和紫外-可见光透过谱等手段表征薄膜结晶性、表面和断面微观形貌以及光学特性.结果表明,衬底以及溶剂性质均对SILAR法薄膜...

关键词: CuSCN , SILAR , micro structure , optical properties