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利用激光刻蚀技术提高Ba_0.5Sr_0.5Co_0.8Fe_0.2O_3-δ膜的透氧能力

申梓刚，路朋献，胡行

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2009.09474

利用激光刻图机对Ba_0.5Sr_0.5Co_0.8Fe_0.2O_3-δ(BSCFO)透氧膜表面进行刻蚀，以提高膜表面的比表面，改善膜的氧表面交换能力，从而达到提高透氧量的目的。研究结果表明，激光刻蚀在膜表面形成宽150µm，深25µm的条纹，可以显著提高膜表面的比表面积。XRD谱显示，激光刻蚀不会引起 BSCFO相结构的变化。透氧量测试表明，激光刻蚀可以增大透氧量，十字交叉双面刻蚀效果更加显著。十字交叉双面刻蚀后，其透氧量比未用激光处理的样品提高了大约34%。

关键词: 透氧膜 , laser ablation , specific surface , oxygen permeation flux