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于晓 , 张之圣 , 胡明
无机材料学报
薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS, 使两者集成成为可能. 本文将详细论述铁电薄膜的优良性能, 及其与MEMS集成的关键工艺--图形化. 最后, 举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.
关键词: MEMS , ferroelectrics thin films , PZT , micro fabrication , pattern
王璞 , 董建新
稀有金属材料与工程
研究不同热处理制度后晶界碳化物对GH864合金650℃裂纹扩展速率的影响.结果表明:不同热处理制度处理后GH864合金晶界碳化物形态逐渐演化:颗粒较少→断续状→连续状→项链状→包膜状.晶界碳化物不断析出起到强化晶界的作用,使裂纹扩展速率降低.得到GH864合金晶界碳化物连续系数fc与裂纹扩展速率的变...
关键词: GH864合金 , 裂纹扩展速率 , 晶界碳化物 , 形貌 , 晶界碳化物连续系数
