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陈哲 , 董连和 , 孙艳军 , 冷雁冰 , 王丽
人工晶体学报
采用电子束蒸发法,以高纯CdS块料为膜料在玻璃基底上制备了CdS薄膜,设计了L9(34)正交实验,研究了各工艺参数对薄膜光电性能的影响.结果表明,随着基底温度,蒸发速率的提高,薄膜的电阻值呈降低趋势达到最小值后稍有升高;薄膜的阻值随真空度的降低而降低,达到一定程度后阻值基本保持不变.薄膜的暗亮电阻比...
关键词: CdS薄膜 , 电子束蒸发法 , 正交实验 , 光电性能
